广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。

　　常见曝光机举例：MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。