依据教育部《高等学校仪器设备管理办法》、《华中科技大学仪器设备管理规定》，为促进仪器设备资源的有效配置，进一步加强对大型仪器设备的管理，促进大型仪器设备开放共享，提高大型仪器设备使用效益。柔性电子制造实验室拥有双面对准曝光机、反应离子刻蚀机、HMDS专用镀膜机、第二代电流体喷印设备、可控微环境电子打印设备、第一代原子层沉积设备等设备，可以实现各种非标准基片曝光、复杂微纳图案、正反双面曝光、制备微电子器件、多层硅通孔器件、柔性电子器件、MEMS器件。